半導体ドライエッチング技術 (集積回路プロセス技術シリーズ) の感想
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参照データ
タイトル | 半導体ドライエッチング技術 (集積回路プロセス技術シリーズ) |
発売日 | 販売日未定 |
製作者 | 徳山 巍 |
販売元 | 産業図書 |
JANコード | 9784782856284 |
カテゴリ | 科学・テクノロジー » 工学 » 電気工学 » 集積回路・IC |
※サンプル画像
![半導体ドライエッチング技術 (集積回路プロセス技術シリーズ) サンプル画像](http://ecx.images-amazon.com/images/I/31sjmLUukhL.jpg)
購入者の感想
エッチングのコンピュータシミュレーションの仕事をやりかけていた際に、購入しました。やや古いですが、エッチングの基礎を理解するには役に立つと思います。